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適用于 Ni、Cr、W、Ti、Al 等各種金屬的高規(guī)格緊湊型鍍膜機(jī)

發(fā)布時(shí)間：2021-09-30　點(diǎn)擊量：1692

適用于 Ni、Cr、W、Ti、Al 等各種金屬的高規(guī)格緊湊型鍍膜機(jī)

特征

  • 直流濺射類系列中最小的超緊湊型號(hào)

  • 配備皮拉尼真空計(jì)，確保成膜條件的再現(xiàn)性

  • 標(biāo)配手動(dòng)快門

  • TS 之間的距離可以通過(guò)專用的樣品臺(tái)和載物臺(tái)輕松改變。

  • 由于它可以鍍上鎢，因此它也可以用于制備高分辨率 SEM 的樣品。



應(yīng)用/結(jié)果示例

  • 適用于各種設(shè)備的電極膜附件

  • 用于制造反射薄膜等

桌面快速涂布機(jī)SC-701MkⅡ ADVANCE



基本規(guī)格

陰極φ2寸直流磁控管/平板型電極
適用對(duì)象Au / Pt / Au-Pd / Pt-Pd / Ag / Pd / W / Ni / Mo / Cr / Ti / Al
壓力測(cè)量皮拉尼真空計(jì)
壓力控制針閥手動(dòng)控制
引入直徑 外徑 φ6mm 一鍵式接頭
工藝氣體氬氣
真空泵直聯(lián)回轉(zhuǎn)泵：20L/min（帶自動(dòng)漏液）
腔室尺寸內(nèi)徑φ90×D90mm（SUS制）
樣品交換方式前門開(kāi)閉式
尺寸（寬/深/高）機(jī)身：160/450 / 290mm RP：295.5 / 156 / 199.5mm
重量身體：9 公斤 反相：9 公斤